תהליך ייצור של לבני סיליקון קרביד

Aug 17, 2024

השאר הודעה

הנוסחה עבור SiC גס, בינוני ועדין צריכה להיות 5:1:4. חומר הגלם לייצור לבני סיליקון קרביד הוא בדרך כלל SiC שחור, עם ההרכב הכימי הבא: SiC 98.0%, C free 0.5%, Fe 0.2%, ו-SiO2 0.6% בחינם. בשל שיטות שילוב שונות, ישנם הבדלים בתהליך הייצור. התהליך הקצר של שיטות שילוב שונות הוא:
(1) סיליקון ניטריד בשילוב עם לבני סיליקון קרביד: גוף ירוק שנוצר מחלקיקי סיליקון קרביד גס, בינוני ועדין ואבקת סיליקון עדינה, בגז N2 טהור ב-1370 מעלות, מייצר מבנה עם% 26 - SiC כ השלד ו-% 26 ו-% 26 - Si3N4. סיליקון ניטריד בשילוב לבני סיליקון קרביד למצע. עדיין יש כמות קטנה של סיליקון ו- SiO2 במטריקס במוצר, והתכולה היחסית של רכיבים אלה משתנה בהתאם למפעל הייצור.
(2) שילוב לבני סיליקון קרביד: SiC, אבקת סיליקון ואבקת פחמן מעורבבים ונוצרים ביחס מסוים, ונורים באווירה מפחיתה ב-1400 מעלות. ברוב המקרים משתמשים בירי פחם קבור. במהלך תהליך השריפה, א% 26 - לבני Si3 מלוכדות Si3N4 עם% 26 - SiC כשלד ותבואה עדינה% 26 - SiC עם יצירת המטריצה ​​26 - נוצר SiC על ידי תגובה של אבקת סיליקון עדינה ואבקת פחמן עדינה במהלך תהליך השריפה, ומוצר זה מכיל גם כמות קטנה של סיליקון ופחמן.
(3) סיליקון אוקסיניטריד בשילוב עם לבני סיליקון קרביד: בעת הכנת לבנה זו, הפרופורציה של אבקת סיליקון עדינה צריכה להיות קטנה מזו של סיליקון קרביד.